三氟化氮
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产品描述
三氟化氮在常温常态下是一种无色稳定的气体。它具有良好的绝缘性和化学稳定性。三氟化氮不可燃，但能支持燃烧。当温度在350以上时，气体会慢慢分解产生强氧化的氟，因此在高温时，它是一种强氧化剂。
理化指标
| Impurities | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
气体物化特性
| 分子量 | 熔点 | 沸点 | 临界温度 | 临界压力 | 液体密度 | 气体密度 | 水中溶解度 | CAS 号 | 危险性类别 |
| 71.01 | -206.8 ℃ (1atm) | -129 ℃ (1atm) | -39.3 ℃ | 44.02atm(4.46MPa) | 1554kg/m3(1atm 沸点时 ) | 2.95kg/m3(1atm 21 ℃） | 1.43*10-5 当量浓度 (1atm ， 22 ℃ ) | 7783-54-2 | 第2.3类有毒气体在空气中的最高允许含量为29mg/m3 |
储存及运输
三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
应用
三氟化氮已广泛应用于电子行业，半导体，以及太阳能光伏产业等。它是一种很好的蚀刻清扫气体，具有清扫无残留，吹扫速度快，易分解等优点。
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